第一阶段：技术预研与团队组建

许志远首先意识到，光刻机的研发需要一支专业的团队，而目前研究所内的技术人员虽然有一定基础，但对于这么高精尖的设备，仍然显得经验不足。

他决定从以下几个方向入手：

从全国范围内筛选顶尖的光学、机械、材料学、控制工程领域的专家。

组建跨学科研发小组，分工明确，包括光源研发组、光学系统组、掩模版设计组、机械控制组、化学处理组等。

邀请高校的科研力量参与，例如龙国科学院、清华大学等顶尖学府中的专家教授。

“一个人再聪明，也搞不定光刻机这种技术怪兽。”许志远心里明白，团队协作是关键。

第二阶段：光刻机的核心技术攻关

根据系统提供的资料，许志远将光刻机的关键技术分为以下几个模块，并提出了每个模块的攻关目标：

光源系统：

使用193纳米深紫外（DUV）光源作为第一代光刻机的核心光源。

攻克高功率激光器的设计难点，确保光源的稳定性和高能量输出。

高效率的光束整形系统，保证光线均匀分布。

光学投影系统：

引进超高精度的光学镜片，要求达到亚纳米级的加工精度。

研发多层反射镜技术，提高光线的利用率和成像精度。

机械控制系统：

设计高精度的步进扫描平台，确保硅片移动误差低于1纳米。

开发全新的伺服控制系统，实现实时动态校准。

掩模版与化学处理：

制造高精度的掩模版，确保芯片电路图案的完整性。